[实用新型]多件式化学气相淀积腔体

摘要

一种多件式化学气相淀积腔体，用于处理一基板，具有一支撑该基板的台座，所述的台座可在该淀积腔体中进行垂直方向移动；一腔体盖，用于覆盖该腔体以形成一封闭空间；及一扩散器，设置于所述的腔体盖内并用于将制程气体扩散至该腔体中，其特征是具有，一呈矩形的底部，该底部是由一金属片材制成，其上形成一孔洞，供该台座的轴穿过设置；一具有一预定高度的侧壁，结合至该底部并包围该底部的周围，该侧壁由至少一金属片材制成。

主权项

1.一种多件式化学气相淀积腔体，用于处理一基板，具有一支撑所述的基板的台座，该台座可在该淀积腔体中沿着一台座轴进行垂直方向移动；一腔体盖，用于覆盖该腔体以形成一封闭空间；及一扩散器，设置于该腔体盖内并用于将制程气体扩散至该腔体中，其特征是：具有，一呈矩形的底部，该底部由一金属片材制成，其上形成一孔洞，供该台座轴穿过设置；一侧壁，具有一高度，并结合至该底部并包围该底部的周围，该侧壁由至少一金属片材制成。