[实用新型]晶圆片或液晶面板卡匣的存取侦测装置无效
| 申请号： | 200520004705.7 | 申请日： | 2005-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN2777491Y | 公开（公告）日： | 2006-05-03 |
| 发明（设计）人： | 林是彬 | 申请（专利权）人： | 欣禾国际企业有限公司 |
| 主分类号： | G01B17/00 | 分类号： | G01B17/00;H01L21/66;G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 孙皓晨 |
| 地址： | 台湾省台北*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆片(wafer)或液晶面板(T.F.T)卡匣(cassette)的存取侦测装置，其在卡匣内部设有插槽，以供放置晶圆片(或液晶基板)，而卡匣底部设有透空部，其还包括超音波装置设于卡匣的底部外，以供发射出超音波，对晶圆片的表面进行侦测，从而达到确实解析要存取的晶圆片(或液晶基板)的正确位置，以准确存取晶圆片(或液晶基板)。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆片 液晶 板卡 存取 侦测 装置 | ||
【主权项】：
1、一种晶圆片或液晶面板卡匣的存取侦测装置，其特征在于：该装置设有可供发射出超音波、并对晶圆片表面进行侦测的超音波装置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于欣禾国际企业有限公司，未经欣禾国际企业有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200520004705.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：新型沙滩摩托车
- 下一篇：灯光区域可调的床头灯
