[实用新型]一种静电卡盘功能测试装置无效
| 申请号： | 200520010994.1 | 申请日： | 2005-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN2807475Y | 公开（公告）日： | 2006-08-16 |
| 发明（设计）人： | 张之山 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郑立明 |
| 地址： | 100016北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种静电卡盘功能测试装置，旨在提供一种能及时了解静电卡盘的工作状态，掌握晶体表面吸附力大小和温度，以及腔室体内环境的各种参数指标的检测装置。它由驱动装置、传动装置、传感装置、卡盘基座、空压装置和腔室体组成，传动装置安装于腔室体的顶部，驱动装置通过传动装置控制腔室体内部的传感装置移动，空压装置设于腔室体的一端，且位于腔室体的外部；卡盘基座位于腔室体内的底部，测试数据通过腔室体上的功能预留口传出，从而有效控制加工过程，保证产品加工质量。本实用新型广泛适用于微电子行业的静电卡盘装置的测试。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 静电 卡盘 功能 测试 装置 | ||
【主权项】：
1.一种静电卡盘功能测试装置，其特征在于，包括驱动装置、传动装置、传感装置、卡盘基座、空压装置和腔室体组成，传动装置安装于腔室体的顶部，传动装置与设于腔室体内部的传感装置连接；传动装置还与驱动装置相连，空压装置设于腔室体的一端，且位于腔室体的外部；卡盘基座位于腔室体内的底部。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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