[实用新型]晶体等径生长的控制系统无效
| 申请号： | 200520011105.3 | 申请日： | 2005-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN2825658Y | 公开（公告）日： | 2006-10-11 |
| 发明（设计）人： | 荀建华 | 申请（专利权）人： | 荀建华 |
| 主分类号： | C30B15/22 | 分类号： | C30B15/22 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 | 代理人： | 翁坚刚 |
| 地址： | 213223江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种晶体等径生长的控制系统。该系统具有晶体生长炉、晶体直径检测部分和埚温控制部分；采集晶体实时拉升速度信号并反馈调整晶体拉升速度的晶体拉升速度控制部分；还有一个共用控制器；所述控制器分别接收来自所述晶体直径检测部分、所述晶体拉升速度控制部分以及所述埚温控制部分各自的检测信号，所述控制器应用Fuzzy控制与PID控制结合的算法计算出晶体拉升调速信号反馈给所述晶体拉升速度控制部分对晶体拉升速度进行调整，以及计算出加热功率调节信号反馈给所述埚温控制部分对熔体的温度进行调整。系统达到优良的控制品质，大大提高晶体等径生长阶段的直径控制精度，稳定提高大直径硅单晶棒一次拉制的成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 晶体 生长 控制系统 | ||
【主权项】：
1、一种晶体等径生长的控制系统，具有晶体生长炉；检测炉内晶体生长过程中晶体直径变化信号的晶体直径检测部分；采集炉内熔体温度信号及加热器的加热电压电流信号并反馈控制炉内熔体温度的埚温控制部分；采集晶体实时拉升速度信号并反馈调整晶体拉升速度的晶体拉升速度控制部分；其特征在于：还具有一个控制器(7)；所述控制器(7)用于分别接收来自所述晶体直径检测部分、所述晶体拉升速度控制部分以及所述埚温控制部分各自的检测信号，所述控制器(7)是应用Fuzzy控制与PID控制结合的算法计算出晶体拉升调速信号反馈给所述晶体拉升速度控制部分对晶体拉升速度进行调整，以及计算出加热功率调节信号反馈给所述埚温控制部分对熔体的温度进行调整的控制器。
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