[实用新型]离子源磁场发生装置无效
| 申请号： | 200520011273.2 | 申请日： | 2005-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN2779595Y | 公开（公告）日： | 2006-05-10 |
| 发明（设计）人： | 郭建辉 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J27/02 | 分类号： | H01J27/02;H01J37/08 |
| 代理公司： | 北京中海智圣知识产权代理有限公司 | 代理人： | 曾永珠 |
| 地址： | 100036北京市海淀区复兴路*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种离子源磁场发生装置，该装置由两个屏蔽筒、四个磁场线包、两个磁极、一个磁轭、两个线包保护筒组成，所述的两磁极极面平行，所述的屏蔽筒安装于磁极线包外侧，所述的磁轭为连接磁极的软铁，与磁极形成磁回路，所述的线包保护筒为铝制材料，安装于线包外侧。本实用新型具有如下优点：(1)采用线包电磁铁工作方式，(2)产生的离子源磁场可调节，方便与放电室其他参数进行匹配，使离子源工作在最佳的工作状态，(3)线包水冷，工作稳定、可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 离子源 磁场 发生 装置 | ||
【主权项】：
1.一种离子源磁场发生装置，其特征在于：该装置由两个屏蔽筒、四个磁场线包、两个磁极、一个磁轭、两个线包保护筒和水冷装置组成，所述的两磁极极面平行，所述的屏蔽筒安装于磁极线包外侧，所述的磁轭为连接磁极的软铁，与磁极形成磁回路，所述的线包保护筒安装于线包外侧。
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