[实用新型]合成石英玻璃生产用燃烧器

摘要

本实用新型公开了一种合成石英玻璃生产用燃烧器，它包括氧室、进料管与氢气室，其特点为氧室为多层设置，其层与层之间密闭相隔；氧室的下一层直径大于上一层直径，其下一层氧室顶端与上一层氧室底部边缘相接；每层氧室内均设有一圈上开口的氧气灯芯管，氧室顶部设有氧进气管；氢室位于最下层氧室的底部，其两侧分别设有氢进气管；氧气灯芯管由所在氧室下延伸穿设于其下设置的多层氧气室至氢气室；所述进料管通设于多层氧气室及氢气室的中心处，其进口端位于多层氧室的顶端，出口端与氧气灯芯管及氢气室底端平齐。其燃烧能力提高1.5－2.5倍以上，得料率提高到5∶1；可实现对沉积靶面的快速沉积，有效提高了合成石英玻璃的生产效率。

主权项

1、一种合成石英玻璃生产用燃烧器，它包括氧室、进料管与氢气室，其特征在于：氧室为多层设置，其层与层之间密闭相隔；所述氧室的下一层直径大于上一层直径，其下一层氧室顶端与上一层氧室底部边缘相接；每层氧室顶部均设有氧进气管，氧室内部设有一圈上开口的氧气灯芯管，下一层所述氧室的氧气灯芯管位于与其相接的上一层所述氧室的氧气灯芯管外圈；所述氢气室位于最下一层氧室的底部，其氢气室的直径与其相接氧室的直径相同，该氢气室两侧分别设有氢进气管；所述氧气灯芯管由所在氧室延伸穿设于其下设置的多层氧气室至所述氢气室；所述进料管通设于所述多层氧气室及所述氢气室的中心处，其进口端位于所述多层氧室的顶端，出口端与所述氧气灯芯管及所述氢气室底端平齐。