[实用新型]一种气动安全锁无效
| 申请号： | 200520017068.7 | 申请日： | 2005-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN2890260Y | 公开（公告）日： | 2007-04-18 |
| 发明（设计）人： | 彭立波;郭建辉;唐景庚;伍三忠;龙会跃;戴习毛;孙雪平 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | E05B51/02 | 分类号： | E05B51/02 |
| 代理公司： | 北京中海智圣知识产权代理有限公司 | 代理人： | 曾永珠 |
| 地址： | 100036北京市海淀区复兴路*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种单点安全门锁，用于离子注入机安全防护门的锁定和锁定状态传感，属半导体设备领域。其包括：活动锁块(1)，安装板(2)，门到位行程开关(3)，锁定行程开关(4)，锁定驱动气缸(5)，固定块(6)，复位弹簧(7)，门行程顶杆(8)，锁定销(9)。将安全门关到位传感、门锁定和锁到位传感合为一体，结构简单，工作可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气动 安全 | ||
【主权项】：
1、一种气动安全锁，其特征是，其包括：活动锁块(1)，安装板(2)，门到位行程开关(3)，锁定行程开关(4)，锁定驱动气缸(5)，固定块(6)，复位弹簧(7)，门行程顶杆(8)，锁定销(9)，所述的活动锁块(1)安装在被锁定门上，所述的固定块(6)安装有门到位行程开关(3)、锁定行程开关(4)、复位弹簧(7)、门行程顶杆(8)和锁定销(9)，所述的复位弹簧(7)安装在门行程顶杆(8)和固定块(6)之间。
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