[实用新型]机械手换向控制装置

摘要

本实用新型公开了机械手换向控制装置，属于半导体器件制造领域。所述的机械手换向控制装置包括制动气缸(1)，旋转轴(2)，“L”形旋转件(3)，限位柱(4)，机械手(5)，回转盘(6)和机械手移动架(7)。旋转轴(2)穿过“L”形旋转件(3)的圆孔安装于机械手移动架(7)上，并可借助弹力回复原位，“L”形旋转件(3)安装于旋转轴(2)上。当制动气缸(1)上升时，顶起“L”形旋转件(3)下部下表面，使“L”形旋转件(3)上部内侧面脱离限位柱(4)，此时，机械手(5)便可绕回转盘(6)做旋转运动。当制动气缸(1)下降时，“L”形旋转件(3)回复原位，“L”形旋转件(3)上部内侧面压紧限位柱(4)，机械手(5)便做直线运动。

主权项

1.一种机械手换向控制装置，包括机械手移动架(7)，机械手(5)，回转盘(6)，限位柱(4)，制动气缸(1)，其特征在于还包括”L”形旋转件(3)，旋转轴(2)；制动气缸(1)位于”L”形旋转件(3)下部下表面正对位置，”L”形旋转件(3)通过其上的圆孔穿过旋转轴(2)，并与旋转轴(2)固定在一起，旋转轴(2)一端安装于机械手移动架(7)上，”L”形旋转件(3)的上部内侧面正常状态为紧贴限位柱(4)，回转盘(6)安装于机械手移动架(7)上，机械手(5)安装于回转盘(6)上，并可绕回转盘(6)做自由旋转运动。