[实用新型]X方向可调节的离子源引出装置无效
| 申请号： | 200520017082.7 | 申请日： | 2005-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN2788345Y | 公开（公告）日： | 2006-06-14 |
| 发明（设计）人： | 龙会跃;郭建辉;易文杰;许波涛;彭立波;唐景庭 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/147 | 分类号： | H01J37/147;H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265 |
| 代理公司： | 北京中海智圣知识产权代理有限公司 | 代理人： | 曾永珠 |
| 地址： | 100036北京市海淀区复兴路*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种X方向可调节的离子源引出装置，通过固定法兰(4)固定于离子源三通上，丝杆螺母副(12)穿过齿轮传动副(14)中心并固定，齿轮传动副(14)与直流电机(1)转轴接触，这样直流电机(1)的转动可使齿轮传动副(14)转动，并使丝杆螺母副(12)产生水平位移。丝杆螺母副(12)可使与之接触的基座(10)产生水平位移，即而固定在基座(10)中央的连接轴(6)带动安装在连接轴(6)另一端的电极(7)运动；丝杆螺母副(12)另一端与电位器(16)通过连轴器(15)相连，丝杆螺母副(12)产生的水平位移可使电位器(16)产生电阻的变化，此电阻变化量由计算机检测处理后调节直流电机(1)的转向，来达到使电极(7)在X方向上可调节的运动，消除离子源引出装置的对中误差。 | ||
| 搜索关键词： | 方向 调节 离子源 引出 装置 | ||
【主权项】：
1.一种X方向可调节的离子源引出装置，包括电极(7)，连接轴(6)，固定法兰(4)，基座(10)，其特征在于还包括直流电机(1)，波纹管(5)，丝杆螺母副(12)，齿轮传动副(14)，连轴器(15)，电位器(16)；所述丝杆螺母副(12)穿过齿轮传动副(14)中心并固定，齿轮传动副(14)与直流电机(1)转轴接触，丝杆螺母副(12)一端与基座(10)接触，所述基座(10)中央固定安装有连接轴(6)，连接轴(6)另一端安装在电极(7)上，在连接轴(6)外部有密封波纹管(5)；丝杆螺母副(12)另一端与电位器(16)通过连轴器(15)相连。
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