[实用新型]平行束测量及平行度矫正控制系统无效
| 申请号： | 200520017083.1 | 申请日： | 2005-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN2788346Y | 公开（公告）日： | 2006-06-14 |
| 发明（设计）人： | 孙勇;唐景庭;伍三忠;孙雪平;王迪平;程远贵;懈均宇 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01L21/265 |
| 代理公司： | 北京中海智圣知识产权代理有限公司 | 代理人： | 曾永珠 |
| 地址： | 100036北京市海淀区复兴路*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种平行束测量及平行度矫正控制系统，它由偏转单元、束平行单元、加速单元、移动法拉第、系统控制器组成，其中偏转单元与束平行单元相连，束平行单元与加速单元相连，加速单元与移动法拉第相连，系统控制器与偏转单元、束平行单元、加速单元、移动法拉第分别同时相连。该系统适用于半导体制造离子注入工艺中所用先扫描、矫正后加速型大倾角离子注入机的平行束测量及平行度矫正控制系统，能使每一个束斑以同样的角度注入晶圆表面。 | ||
| 搜索关键词： | 平行 测量 矫正 控制系统 | ||
【主权项】：
1、一种平行束测量及平行度矫正控制系统，其特征在于它由偏转单元(1)、束平行单元(2)、加速单元(3)、移动法拉第(4)、系统控制器(5)组成，其中偏转单元(1)输出端与束平行单元(2)输入端相连，束平行单元(2)输出端与加速单元(3)输入端相连，加速单元(3)输出端与移动法拉第(4)输入端相连，系统控制器(5)与偏转单元(1)、束平行单元(2)、加速单元(3)、移动法拉第(4)同时分别相连；系统控制器(5)输出控制信号给偏转单元(1)，对离子束进行偏转，产生偏转的离子束以不同角度进入束平行单元(2)，经过束平行单元的作用产生同一角度的离子束，离子束进入加速单元(3)，获得一定能量到达移动法拉第(4)，系统控制器通过移动法拉第检测出不同加速状态下离子束流峰值位置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京中科信电子装备有限公司，未经北京中科信电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200520017083.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
