[实用新型]离子源放电电流自稳控制器无效
| 申请号： | 200520017087.X | 申请日： | 2005-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN2788509Y | 公开（公告）日： | 2006-06-14 |
| 发明（设计）人： | 孙学平;姚志丹;郭建辉;伍三忠;唐景庭;陈鑫 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/36 | 分类号： | H05H1/36;H05H1/48;H01J27/08;H01J49/12;H01L21/265;H01L21/425;G05F1/46 |
| 代理公司： | 北京中海智圣知识产权代理有限公司 | 代理人： | 曾永珠 |
| 地址： | 100036北京市海淀区复兴路*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种离子源放电电流自稳控制器，包括一灯丝电流采样电路、一比较控制电路和一计算机控制模块，该控制器通过弧流的采样值和放电电流的设定值比较来进行灯丝电流的设定值控制，并且通过放电电流与灯丝电源电流之间形成了的闭环控制来实现放电电流的自稳定控制调节。本实用新型电路结构简单、可靠；由于闭环反馈使得放电电流稳定性高；同时简化了离子注入机中束流的自动建立程序。 | ||
| 搜索关键词： | 离子源 放电 电流 控制器 | ||
【主权项】：
1、一种离子源放电电流自稳控制器，包括一灯丝电流采样电路(1)、一比较控制电路(2)和一计算机控制模块(3)，其特征在于：所述的灯丝电流采样电路(1)包含弧流采样电路(11)、多路选择开关(12)、第一放大器(13)、光耦(14)、第二放大器(15)；所述的比较控制电路(2)包括第三放大器(21)、第四放大器(24)；所述的计算机控制模块(3)包括：放电电流设定单元(31)、灯丝电源电流设定单元(32)和灯丝电流检测控制单元(33)；所述的弧流采样电路(11)的输出经多路选择开关(12)的一组触点与第一放大器(13)的正相输入端相连，第一放大器(13)的输出信号经光耦(14)后与第二放大器(15)的输入端连接；所述的第二放大器(15)的输出与比较控制电路(2)中的第三放大器(21)输入的正相端相连，第三放大器(21)的反相端与放电电流设定单元(31)连接，输出经一反向二极管和一电阻与第四放大器(22)的正相端相连，第四放大器(22)的正相端经另一反向二极管和另一电阻与灯丝电源电流设定单元(32)连接，其输出与灯丝电流检测控制单元(33)连接。
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