[实用新型]扫描发生装置

摘要

本实用新型公开了一种扫描发生装置，该扫描发生装置由一对扫描偏转板、扫描发生器、扫描偏转电源、气浮轴承、直线电机、均匀性控制器、直线电机驱动器、移动法拉第杯、靶盘、主控制器和加速计组成；其中靶盘上装载晶圆，均匀性控制器中采用具有高速运算能力的并行16位FORTH处理器；本实用新型适用面广，实用性强，对束流进行均匀性检测和均匀性校正，使束流均匀注入，保证注片剂量的均匀性，重复性好。

主权项

1、一种扫描发生装置，其特征在于该扫描发生装置由一对扫描偏转板、扫描发生器、扫描偏转电源、气浮轴承、直线电机、均匀性控制器、直线电机驱动器、移动法拉第杯、靶盘、主控制器和加速计组成；其中靶盘上装载晶圆，均匀性控制器中采用具有高速运算能力的并行16位FORTH处理器；主控制器发送扫描波形到扫描发生器，均匀性控制器发送斜率触发信号触发扫描发生器产生三角形波形，发送给扫描偏转电源，通过扫描偏转电源的放大，产生符合要求的扫描电压加载到扫描偏转板上面，使束流水平方向扫开，平行透镜使扫开的束流平行的注入到靶盘上的晶片上，均匀性控制器产生控制直线电机的正弦波信号和加速度信号，送给直线电机驱动器驱动直线电机运动，并带动气浮轴承和靶盘及吸附在靶盘上的晶片作垂直扫描运动；移动法拉第接收主控制器的信号，移动检测晶片上束流的均匀性，并将信息传递给扫描发生器。