[实用新型]用于化学气相沉积法生产微纳米碳材料的电热箱式炉无效
| 申请号： | 200520022784.4 | 申请日： | 2005-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN2773047Y | 公开（公告）日： | 2006-04-19 |
| 发明（设计）人： | 陈丽娟;李文军;郭燕川;陈文浩 | 申请（专利权）人： | 中国科学院理化技术研究所 |
| 主分类号： | C01B31/02 | 分类号： | C01B31/02 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 李柏 |
| 地址： | 100101*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及CVD(化学气相沉积)炉，具体地说涉及一种生产微纳米碳材料的CVD炉。一炉芯管(3)，炉芯管(3)的一端开口，在炉芯管(3)的开口处安装有可开启的活动炉门(8)；在炉芯管(3)的上下壁上分别垂直安装与炉芯管(3)腔体相通的气体导入管(6)和气体导出管(7)；炉芯管(3)上下壁的外侧装有发热体(4)，在发热体(4)的外面，及除炉门外的炉芯管(3)的侧壁外包裹保温层(5)；保温层外是框架结构的金属外壳(9)；一基板架(2)安装在炉芯管(3)腔体内的中部，在基板架(2)上安放有基板(1)。本实用新型可实现高质量、高效率地生产各种形态的微纳米碳材料，包括碳纳米管、气相生长碳纤维、微碳卷。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 化学 沉积 生产 纳米 材料 电热 箱式 | ||
【主权项】：
1.一种用于化学气相沉积法生产微纳米碳材料的电热箱式炉，包括基板、基板架、炉芯管、发热体、保温层、气体导入管、气体导出管、炉门、金属外壳；其特征是：一炉芯管(3)，炉芯管(3)的一端开口，在炉芯管(3)的开口处安装有可开启的活动炉门(8)；在炉芯管(3)的上下壁上分别垂直安装与炉芯管(3)腔体相通的气体导入管(6)和气体导出管(7)；炉芯管(3)上下壁的外侧装有发热体(4)，在发热体(4)的外面，及除炉门外的炉芯管(3)的侧壁外包裹保温层(5)；一基板架(2)安装在炉芯管(3)腔体内的中部，在基板架(2)上安放有基板(1)，在基板(1)上开有孔洞。
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