[实用新型]大行程纳米级步距压电微动工作平台及其驱动控制系统

摘要

本实用新型公开了一种大行程纳米级步距压电微动工作平台及其驱动控制系统。适用于纳米技术领域，特别是纳米机械加工、纳米测量、电子器件生产、微型机电系统、纳米材料、生物医学等领域。本实用新型的大行程纳米级步距压电微动工作平台，包括平台和底座。所述平台上设置有导轨和沿该导轨移动的导轨块；所述导轨块的端部设置有驱动单元，驱动单元由夹紧器和驱动器组成，夹紧器在其电极通电时，产生伸展或收缩变形，用于完成夹紧和放松动作。本实用新型采用平台——导轨式结构，直接使工作平台产生纳米级的运动分辨力，总行程可以达到十几毫米，并将传统单驱动器结构改为双驱动器结构，配以适当的四路驱动信号，实现了压电微动工作平台的连续匀速运动。

主权项

1、一种大行程纳米级步距压电微动工作平台，包括底座，其特征在于，所述底座上设置有导轨块，导轨块上设置有导轨，导轨连接有可沿该导轨移动的平台；所述导轨块的端部设置有驱动单元，驱动单元由夹紧器和驱动器组成，夹紧器在其电极通电时，产生伸展或收缩变形，用于完成夹紧和放松动作。