[实用新型]自动椭圆偏振测厚仪无效
| 申请号： | 200520026085.7 | 申请日： | 2005-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN2804796Y | 公开（公告）日： | 2006-08-09 |
| 发明（设计）人： | 李创业;高士猛;滕会来;杜振贡;李永刚 | 申请（专利权）人： | 天津市港翼科技发展有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 天津市三利专利商标代理有限公司 | 代理人： | 刘英兰 |
| 地址： | 300384天津市南开区*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种自动椭圆偏振测厚仪，由电控箱、光路托板、激光器固定架、激光器、转向棱镜、起偏器、样品台、检偏器、探测器组成；电控箱上方设置光路托板，光路托板上方分别设置检偏器、样品台及起偏器；位于检偏器一侧设置探测器，位于起偏器一侧设置转向棱镜；其特征在于光路托板的下方设置激光器固定架，其上设有激光器。激光器采用带布儒斯特窗的氦氖激光器。该仪器采用带布儒斯特窗的氦氖激光器作为光源，光源的亮度、波长及偏振状态稳定，从而提高测量精度。激光器置于测量平面下方，固定位置隐蔽不外露，光源不易被碰到而导致光路被破坏，并使仪器整体结构更加紧凑，整体空间占用小。其结构简单，加工简便，使用方便；造价低，应用广。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 椭圆 偏振 测厚仪 | ||
【主权项】：
1、一种自动椭圆偏振测厚仪，由电控箱、光路托板、激光器固定架、激光器、转向棱镜、起偏器、样品台、检偏器、探测器组成；电控箱上方设置光路托板，光路托板上方分别设置检偏器、样品台及起偏器；位于检偏器一侧设置探测器，位于起偏器一侧设置转向棱镜；其特征在于光路托板的下方设置激光器固定架，其上设有激光器。
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