[实用新型]膜厚控制仪

摘要

本实用新型的膜厚控制仪，包括：主机以及与主机连接的由晶体振荡器和探头组成的振荡回路部件，在进行镀膜操作时，安装在探头上的探头晶片接收到镀膜蒸发物时，随着晶片上的镀膜蒸发物的厚度的变化，所述晶体振荡器以及探头组成的振荡回路产生的振荡频率值就会变化，主机中的单片微机根据接收到的振荡频率的变化值计算镀膜厚度，即，计算出被镀膜物体的膜厚。本实用新型的膜厚控制仪可以达到镀膜速率的自动控制；此外，本实用新型置有抗干扰的滤波电路，使仪器在操作过程中稳定工作；本实用新型特别适用于真空镀膜的设备中。

主权项

1、一种膜厚控制仪，其特征在于包括：主机以及与主机连接的由晶体振荡器和探头组成的振荡回路部件，其中：所述的探头包括：晶片探头，包括一探头盒体与盖在探头盒体上面的外盖，所述探头盒体内设有一晶片，所述外盖的中央设有一通孔；密封所述晶片探头的法兰；组成循环冷却系统的进出冷却管；对所述晶体振荡器以及探头进行电连接的同轴线及引线；所述的主机包括主机盒体以及主机面板，在主机盒体内部置有主机电路部件及电源部件，其中：所述的主机电路部件包括：单片微机，是所述主机电路部件的控制部件；滤波电路，与所述晶体振荡器以及探头组成的振荡回路连接；频率采样电路，与所述滤波电路连接，输出端与单片微机连接；与所述单片微机连接的D/A转换器，与所述D/A转换器连接的功率放大器，所述功率放大器输出到需要控制的镀膜设备的输入端；由多个功能键组成的键盘；与所述单片微机连接的显示器；一端与所述单片微机连接、另一端与一镀膜设备挡板的开关部件连接的输出接口；一端与所述单片微机连接、另一端与镀膜设备的坩埚选择部件连接的坩埚选位电路；所述的主机面板置有所述显示器的显示屏、所述键盘中的多个功能键、镀膜指示信号的指示灯、调节所述显示器的背光亮度的微调电位器、选择已编程的序号的序号选择键、预镀膜/正式镀膜的启动键、暂停镀膜的暂停键、停止镀膜的停止键以及开/关电源的电源开关。