[实用新型]微小转角干涉测量仪

摘要

一种微小转角干涉测量仪，其结构是：一调制光源由调制驱动电源驱动，在该调制光源发出的光束的前进方向上依次放置有光束准直系统、光束缩束系统和分光元件，在该分光元件的第一出射光束前进方向上经第一反光镜，进入第一测量臂组件，在所述的分光元件的第二出射光束前进方向放置第二测量臂组件，在所述的分光元件的第三出射光束前进方向上置有光电转换元件，该光电转换元件之后依次串连信号放大器、模数转换器与计算机。本实用新型的角位移测量分辨率由在先技术中的10^－4度(1.75*10^－6rad)提高到10^－8rad数量级。

主权项

1、一种微小转角干涉测量仪，特征在于其结构是：一调制光源(2)由调制驱动电源(1)驱动，在该调制光源(2)发出的光束的前进方向上依次放置有光束准直系统(3)、光束缩束系统(4)和分光元件(5)，在该分光元件(5)的第一出射光束a的前进方向上放置有第一反光镜(6)，在该第一反光镜(6)的出射光束d的前进方向上放置有第一测量臂组件(71)，在第一测量臂组件(71)的出射光束的前进方向上放置有第二反光镜(81)，在所述的分光元件(5)的第二出射光束b的前进方向上放置有第二测量臂组件(72)，在第二测量臂组件(72)的出射光束的前进方向上放置有第三反光镜(82)，在所述的分光元件(5)的第三出射光束c的前进方向上放置有光电转换元件(9)，该光电转换元件(9)的输出端与信号放大器(10)的输入端相连，该信号放大器(10)的输出端与模数转换器(11)相连，该模数转换器(11)与计算机(12)相连。