[实用新型]太阳电池减反射膜喷涂装置无效
| 申请号： | 200520047147.2 | 申请日： | 2005-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN2910967Y | 公开（公告）日： | 2007-06-13 |
| 发明（设计）人： | 汪乐 | 申请（专利权）人： | 上海太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C18/02 | 分类号： | C23C18/02;C23C18/12 |
| 代理公司： | 上海航天局专利中心 | 代理人： | 金家山 |
| 地址： | 20110*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种太阳电池减反射膜喷涂装置，包括工作台，其特点是工作台上设有气动马式分度机构，气动马式分度机构上设置具有四个工作位置且彼此相隔90°的铜板，铜板的三个工作位置下方的工作台内分别设有加热平台、加热平台和冷却平台。本实用新型能实现对太阳电池表面的减反射膜喷涂的半自动连续生产。该装置能对喷涂的工艺时间、温度、气体流量、阀门动作、工作压力等实行自动控制。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳电池 减反射膜 喷涂 装置 | ||
【主权项】：
1、一种太阳电池减反射膜喷涂装置，包括工作台，其特征是工作台上设有气动马式分度机构，气动马式分度机构上设置具有四个工作位置且彼此相隔90。的铜板，铜板的三个工作位置下方的工作台内分别设有加热平台、加热平台和冷却平台。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法，例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法，例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀，即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
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