[实用新型]纳米氧化锌及低熔点金属氧化物粉体的生产设备

摘要

一种纳米氧化锌及低熔点金属氧化物粉体的生产设备，属冶金技术领域。本实用新型克服了以往采用化学法生产纳米氧化锌及低熔点金属氧化物粉体带来的能耗大，污染严重，设备复杂，投资多等缺陷。采用等离子汽相法生产纳米氧化锌及低熔点金属氧化物粉体，其结构是在机架下部设有Z轴升降系统，中部设有X轴运动系统，在X轴运动系统的导轨上固定有Y轴运动总成，在该总成上固定有双层体壁的冷水铜坩埚；在机架上部设有由电极、电极升降杆及其啮合的导轨组成。其中电极接电源的正极，电源负极与坩埚相接，坩埚上方设有带粉尘出口和法兰的汽化室。适合作生产纳米氧化锌及低熔点金属氧化物粉体的设备。

主权项

1、一种纳米氧化锌及低熔点金属氧化物粉体的生产设备，包括Z轴升降系统、X轴运动系统、Y轴运动系统、冷水铜坩锅、电极及其升降系统、汽化室及收集粉体装置，其特征是：Z轴升降系统设于机架的下部，由电机及电机主轴上的升降丝杆，与丝杆啮合的升降导轨、升降导轨顶端的托盘和托盘四周的滚珠组成；在机架的中部设有包括X轴运动电机，及该电机主轴上的X轴运动丝杆，与X轴运动丝杆啮合的导轨和与托盘接触的X轴滚珠组成的X轴运动系统，在X轴运动系统的运动导轨上固定有Y轴运动总成，在Y轴运动总成上固定有用厚铜板制成的具有双层体壁的方形冷水铜坩锅；在冷水铜坩锅的上方机架上设有由Y轴运动电机，该电机主轴上连接的电极及电极升降丝杆和与电极升降丝杆啮合的导轨组成的Y轴运动系统；在电极上连接有电源的正极，在冷水铜坩锅上连接有电源的负极；在冷水铜坩锅的上方还设有气化室，气化室的顶部设有粉尘出口并经法兰和管道与粉尘收集器相连接。