[实用新型]薄膜晶体管的制造装置和其所使用的光罩无效
| 申请号： | 200520065928.4 | 申请日： | 2005-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN2862120Y | 公开（公告）日： | 2007-01-24 |
| 发明（设计）人： | 赖建廷 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;群创光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F1/00;H01L21/027;G02F1/136 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种薄膜晶体管的制造装置和其所使用的光罩。该薄膜晶体管的制造装置包括一光罩，该光罩包括狭缝，该狭缝包括至少一弯曲透光部分，该狭缝的弯曲透光部分较其它透光部分狭窄。采用该薄膜晶体管的制造装置可以得到性能较佳的薄膜晶体管。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 制造 装置 使用 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜晶体管的制造装置，其包括一光罩，该光罩包括狭 缝，该狭缝包括多个透光部分，且至少一透光部分为弯曲透光部分， 其特征是：该狭缝的弯曲透光部分较其它透光部分狭窄。
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