[实用新型]一种电容式MEMS加速度传感器

摘要

本实用新型涉及一种电容式MEMS加速度传感器，其是由中间电极、上下电极构成的三明治式差动电容结构，中间电极包括边框、质量块、悬臂梁，其特点是中间可动电极的质量块中央开一个孔洞，中间电极的边框上加工多个缝隙。这样，当质量块做上下位移时，腔室中的空气可通中间电极的孔洞，并可从周边缝隙排出，可加强空气的流动，起到阻止质量块自由运动的作用。以减小阻尼，并起到降低噪音的作用。本实用新型结构简单，加工方便，可靠性高，可降低生产条件和成本，是一种理想的减小阻尼，降低噪音的电容式MEMS加速度传感器。

主权项

1、一种电容式MEMS加速度传感器，包括上电极、下电极和可移动的中间电极，由中间电极、上下电极构成三明治式差动电容结构，上电极、下电极是以微机械加工技术形成的槽型电极，中间电极包括边框、质量块、悬臂梁，其特征在于：中间可动电极的质量块中央开一个孔洞，中间电极的边框上加工多个缝隙。