[实用新型]保护环排水结构无效
| 申请号： | 200520093674.7 | 申请日： | 2005-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN2829980Y | 公开（公告）日： | 2006-10-25 |
| 发明（设计）人： | 童德黉;童德观 | 申请（专利权）人： | 童德黉;童德观 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人： | 许宗富;周秀梅 |
| 地址： | 台湾省桃园县八*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种保护环排水结构，包含：一环型座，该环型座顶面间隔环设有复数锁孔，并于该环型座底端环设有复数凹槽；复数陶瓷柱体，对应设置于上述环型座的凹槽内；如上述构造，可将晶圆置入该环型座内稳固定位，并使该环型座底端的陶瓷柱体保护晶圆在旋转研磨的过程中能平稳与磨料接触，并使研磨过程中喷注的多余的水份与研磨液沿各陶瓷柱体间排出。 | ||
| 搜索关键词： | 保护环 排水 结构 | ||
【主权项】：
1.一种保护环排水结构，其特征在于包含：一环型座，该环型座顶面间隔环设有复数锁孔，并于该环型电底端环设有复数凹槽；复数陶瓷柱体，对应设置于上述环型座的凹槽内；可将晶圆置入该环型座内稳固定位，并使该环型座底端的陶瓷柱体保护晶圆在旋转研磨的过程中能平稳与磨料接触，并使研磨过程中喷注的多余的水份与研磨液沿各陶瓷柱体间排出。
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