[实用新型]一种热处理高温炉控制装置无效
| 申请号： | 200520098203.5 | 申请日： | 2005-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN2886630Y | 公开（公告）日： | 2007-04-04 |
| 发明（设计）人： | 章天金;梁坤;张柏顺;刘江华;万能;何军;李颂战 | 申请（专利权）人： | 湖北大学 |
| 主分类号： | G05D23/19 | 分类号： | G05D23/19;G05D23/22;G05B15/02 |
| 代理公司： | 武汉天力专利事务所 | 代理人： | 程祥;冯卫平 |
| 地址： | 430062湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种热处理高温炉的控制装置，由温度传感器、信号放大电路、接口电路、计算机、触发电路、加热元件组成，温度传感器设于热处理高温炉内，温度传感器的输出与信号放大电路的输入联接，信号放大电路的输出通过接口电路与计算机联接，计算机的输出通过接口电路与触发电路联接，触发电路的输出与加热元件的输入联接。本实用新型可用于硅及其化合物半导体材料离子注入后的退火，硅化物的形成等方面，也可用于铁电薄膜以及各种半导体材料制备工艺后期的热处理，可以缩短材料的制备时间，避免材料中易挥发成分的挥发而造成的组分偏离，制备的材料结构均匀、性能优良，并能与IC集成工艺兼容，因而在材料制备领域具有广阔的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 热处理 高温 控制 装置 | ||
【主权项】：
1.一种热处理高温炉的控制装置，其特征在于：由温度传感器、信号放大电路、接口电路、计算机、触发电路、加热元件组成，温度传感器设于热处理高温炉内，温度传感器的输出与信号放大电路的输入联接，信号放大电路的输出通过接口电路与计算机联接，计算机的输出通过接口电路与触发电路联接，触发电路的输出与加热元件的输入联接。
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