[实用新型]扩散硅压阻式压力传感器

摘要

本实用新型公开了一种扩散硅压阻式压力传感器，是一种广泛应用于教学实验的仪器。硅膜片、压力表一、压力表二、旋塞筒一及旋塞筒二安装在底座上；旋塞筒一内设有旋钮一，旋塞筒二内设有旋钮二，旋塞筒左端设有软管接口；软管接口一、压力表一及低压阻接口配三通以软管相连，软管接口二、压力表二及高压阻接口亦配三通以软管相连；底座上靠右下侧设有VS接线口、V₀⁺接线口、信号输出接线口、接地线口、及V₀^{－V₀－V₀+接线端子、接地线接线端子，其中VS接线口与VS接线端子对应相连，V₀+接线口与V₀+接线端子对应相连，V₀－V₀－够通过改变接线方式测量压力和压差，适用于教学实验。}

主权项

1.一种扩散硅压阻式压力传感器，包括底座(1)、压力表一(2)、压力表二(3)、旋塞筒一(8)、旋塞筒二(9)、旋钮一(10)、旋钮二(11)和硅膜片(21)，其特征在于所述的压力表一(2)、压力表二(3)、旋塞筒一(8)、旋塞筒二(9)及硅膜片(21)均布置在底座(1)上，旋塞筒一(8)内设有旋钮一(10)，旋塞筒二(9)内设有旋钮二(11)。