[实用新型]物理气相沉积蒸镀机的磁性过滤装置

摘要

一种物理气相沉积蒸镀机的磁性过滤装置，设置在蒸镀机的溅镀靶出口，包括有管体及设于管体外部周缘的磁场产生机构；其中，该管体具有入口端、出口端及形成于上述二者之间的弯曲部；该入口端连接于溅镀靶的出口，通过改变该磁场产生机构的磁场强度，来控制从该溅镀靶所溅击出，并通过管体内部的金属离子的颗粒大小与移动方向；由此，可对溅镀靶所溅击出的金属离子进行微米颗粒与纳米颗粒的分离，并使纳米颗粒吸附于被镀物的表面，增加镀膜的结构强度及提高被镀物的机械性能与延长使用寿命。

主权项

1.一种物理气相沉积蒸镀机的磁性过滤装置，所述蒸镀机具有溅镀靶，在所述溅镀靶的出口设有所述磁性过滤装置，其特征在于，所述磁性过滤装置包括：管体，包括有入口端、出口端及至少一个形成于所述入口端与出口端之间的弯曲部，所述入口端连接于所述溅镀靶的出口处；以及磁场产生机构，设置在所述管体的外部周缘，利用所述磁场产生机构所产生的磁场强度来控制从溅镀靶所溅击出，并通过所述管体内部的金属离子的颗粒大小与移动方向。