[实用新型]灯组件和衬底处理室无效
| 申请号： | 200520110817.0 | 申请日： | 2005-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN2829269Y | 公开（公告）日： | 2006-10-18 |
| 发明（设计）人： | 约瑟夫·拉尼什;阿比吉特·德赛;阿波罗·哈韦林德 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H05B3/00 | 分类号： | H05B3/00;H05B3/06;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 肖善强 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于衬底(164)处理室(132)的灯组件(20)，包括具有第一端(32)和第二端(36)的管状体(24)、至少部分地安放于所述第一端(32)中具有灯丝(56)和第一电连接器(92)的灯元件(48)、安装到所述第一电连接器(92)的传输导线(80)、以及相对于所述管状体(24)的所述第二端(36)柔性地定位具有安装到所述传输导线(80)的第二电连接器(92)的刚性插头(88)。 | ||
| 搜索关键词： | 组件 衬底 处理 | ||
【主权项】：
1.一种灯组件，所述灯组件用于衬底处理室，并包括：(a)管状体，具有在第一端和第二端的开口；(b)灯元件，安放于所述管状体的所述第一端的所述开口中，所述灯元件具有灯丝以及第一电连接器；(c)传输导线，连接到所述第一电连接器；以及(d)刚性插头，柔性地定位在所述管状体的所述第二端，所述刚性插头包括安装到所述传输导线的第二电连接器。
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