[实用新型]一种全固体紫外激光焦点位置在线检测装置

摘要

一种全固体紫外激光焦点位置在线检测装置，属于激光加工技术领域。该装置主要由主要由刻度腔(1)和玻璃窗(2)组成；其中，刻度腔为空腔结构，在刻度腔的侧壁上开有窗口，在每个窗口外表面的两侧对称布置有标尺；玻璃窗通过紧固螺钉(5)固定在刻度腔内。在刻度腔上还设置有避免加工台面与检测装置直接接触的滑片(3)，滑片上开有一使激光进入的空腔结构，采用沉头螺钉(4)将刻度腔和滑片连接。刻度腔内腔为圆形或者多边形结构，玻璃窗、滑片为与其配合的相应结构。本实用新型具有结构简单，检测过程直观、准确等特点，完全可满足全固体紫外激光在微细加工中在线检测激光焦点位置的需要。

主权项

1、一种全固体紫外激光焦点位置在线检测装置，其特征在于：该装置主要由刻度腔(1)和玻璃窗(2)组成；其中，刻度腔(1)为空腔结构，在刻度腔(1)的侧壁上至少开有一个窗口，在每个窗口外表面的两侧，从刻度腔1上端面至下端面之间刻有标尺，标尺对称分布在窗口两侧；玻璃窗(2)的外形尺寸与刻度腔(1)内的空腔适应，并安装在刻度腔(1)内。