[实用新型]物理气相沉积蒸镀机的被镀物固持装置无效
| 申请号： | 200520114232.6 | 申请日： | 2005-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN2841677Y | 公开（公告）日： | 2006-11-29 |
| 发明（设计）人： | 林德坤 | 申请（专利权）人： | 林泓庆 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 余朦;方挺 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种物理气相沉积蒸镀机的被镀物固持装置，该固持装置设置在蒸镀机内部，用于被镀物的固定设置，其包括有：传动机构及固接机构；其中，该传动机构具有固定轴及与该固定轴相连接的传动组件，而该固接机构具有与该传动机构的固定轴呈非平行设置的旋转轴、用于固持旋转轴的支撑臂及带动该旋转轴与支撑臂绕着传动机构进行旋转运动的转盘构件，在该旋转轴的两端分别连接有转动件及固接座，该转动件与传动组件相互配合转动，使该固接座产生倾斜状旋转运动；由此，可将纳米离子连续均匀的披覆在被镀物的表面上，以增加被镀物的表面硬度、耐磨性等机械性质及延长使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 物理 沉积 蒸镀机 被镀物固持 装置 | ||
【主权项】：
1.一种物理气相沉积蒸镀机的被镀物固持装置，所述固持装置设置在蒸镀机内部，用于固定设置被镀物，其特征在于，包括：传动机构，其具有固定轴及与所述固定轴相连接的传动组件；以及至少一个固接机构，其具有与所述传动机构的固定轴呈非平行设置的旋转轴、用于固持所述旋转轴的支撑臂及带动所述旋转轴与支撑臂绕着传动机构进行旋转运动的转盘构件，在所述旋转轴的两端分别设置有转动件及固接座，所述转动件与传动组件相互配合转动，使所述固接座产生倾斜状的旋转运动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于林泓庆，未经林泓庆许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200520114232.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
