[实用新型]金属表面富含稀土元素超耐磨合金层的生产装置

摘要

本实用新型涉及一种金属表面富含稀土元素超耐磨合金层的生产装置，其包括内部设有工件放置平台，且具有进气口和排气口的真空室，该真空室上设有用于放置或取出工件的可封闭的门，所述真空室的外壁上设有与该真空室内部连通的金属蒸汽真空弧离子源、气体离子源和电子枪；所述真空室的外壁上还设有一个一端与该真空室内部连通的磁过滤管道，该磁过滤管道的另一端连接有过滤阴极弧等离子体源；所述磁过滤管道的外侧绕设有与电源连接的电磁感应线圈。本实用新型利用技术组合，为众多应用领域中不断出现的新的应用问题提供了有效的技术解决手段，克服了过去注入技术不能将多种离子有效地形成超耐磨合金的缺陷。

主权项

1、一种金属表面富含稀土元素超耐磨合金层的生产装置，其包括内部设有工件放置平台，且具有进气口和排气口的真空室，该真空室上设有用于放置或取出工件的可封闭的门，其特征在于：所述真空室的外壁上设有与该真空室内部连通的金属蒸汽真空弧离子源、气体离子源和电子枪；所述真空室的外壁上还设有一个一端与该真空室内部连通的磁过滤管道，该磁过滤管道的另一端连接有过滤阴极弧等离子体源；所述磁过滤管道的外侧绕设有与电源连接的电磁感应线圈。