[实用新型]半导体PN结二极管器件的温升和热阻测量装置

摘要

本实用新型属半导体器件测量领域。目前温升和热阻测量操作复杂，周期长，有的有破坏性。本装置：被测器件(401)放在恒温平台(403)上；计算机(100)通过接口(200)接采集器(205)；(205)分三路：一路接三路开关(303)，接到被测器件(401)；二路接采样电阻(501)后接三路开关(303)，再接测试电流源(201)；(201)的一端接接口(200)，一端接电流开关(301)；三路接采样电阻(502)后接三路开关(303)，再接工作电流源(202)；(202)的一端接接口(200)，一端接电流控制开关(301)；(301)输入两端接测试电流源(201)和工作电流源(202)；输出端接参考负载(402)和被测器件(401)，控制端接时序发生器(203)；采集器(204)一端接接口(200)，一端接到高速截取放大器(302)；高速截取放大器(302)接器件(401)。本实用新型非破坏性，可测瞬态加热响应曲线，从而分辨器件热阻构成。

主权项

1、一种半导体PN结二极管器件的温升和热阻测量装置，其特征在于，包括以下部分：被测器件(401)放置在可调温的恒温平台(403)上；计算机(100)是实施测量的中心，测量指令的发送、测量数据传输和保存均由计算机(100)控制完成；计算机(100)通过总线接口(200)接出采集器(205)；采集器(205)分成三路，连接到一个可计算机控制的三路开关(303)，完成三个稳态工作电参数的采集：一路直接通过三路开关(303)，接到被测器件(401)，直接采集(401)两端的电压；从采集器(205)引出的第二条线串接一个测试电流采样电阻(501)后，接入三路开关(303)，再从三路开关(303)接入到测试电流源(201)；采集测试电流采样电阻(501)上电压，得到被测器件(401)的测试电流；测试电流源(201)的一端要接到接口(200)，接受由计算机(100)设定的工作电流指令；测试电流源(201)的另一端接到电流开关(301)；从采集器(205)引出的第三条线串接一个工作电流采样电阻(502)后，接入三路开关(303)，再从三路开关(303)接入到工作电流源(202)；采集工作电流采样电阻的电压，得到被测器件(401)的工作电流；工作电流源(202)的一端接到接口(200)，接受由计算机(100)设定的工作电流指令；工作电流源(202)另一端接到电流控制开关(301)；电流控制开关(301)的输入两端分别接入从测试电流源(201)输出的测试电流和从工作电流源(202)输出的工作电流；两输出端一端接到参考负载(402)，一端接到被测器件(401)；另外一个控制端接到时序发生器(203)；由计算机设定的从测试电流源(201)输出的测试电流，在测量过程中，一直经过电流控制开关(301)，输出到被测器件(401)上；由计算机(100)设定的从工作电流源(202)输出的工作电流，受电流控制开关(301)的控制端，从时序发生器(203)输出过来的时序控制；时序发生器(203)一端接到接口(200)，接受由计算机(100)设定的指令；当器件工作时，电流输出到被测器件(401)上；测量时，该电流则流向参考负载(402)；被测器件(401)两端在测试电流下的电压是由采样频率1.25Mhz以上、12位以上高速采集器(204)完成的；采集器(204)一端接到接口(200)，接受和发送指令和数据从或者到计算机(100)，一端接到高速截取放大器(302)；高速截取放大器(302)接到被测器件(401)；测试电流下被测器件(401)两端的电压经高速截取放大器(302)截取放大后，由高速采集器(204)采集并传到计算机(100)，显示出采集的电压波形。