[实用新型]新型超高真空原位生长、表征和测试系统无效
| 申请号： | 200520132651.2 | 申请日： | 2005-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN2837831Y | 公开（公告）日： | 2006-11-15 |
| 发明（设计）人： | 王健;梁学锦;蔡伟伟;刘慧;陈东敏;薛其坤 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | G01N13/12 | 分类号： | G01N13/12;G01N1/28;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 尹振启 |
| 地址： | 100080北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种新型超高真空原位生长、表征和测试系统，包括：MBE生长室、样品分析室、STM室和减震台，减震台包括三条空气腿、三个钢罩和三角形支架，钢罩垂直安装在三角形支架的三个角上，钢罩为半包围形，并分别套装三条空气腿上，三角支架上在靠近三个角的位置上分别还安装有支撑板，MBE生长室、样品分析室和STM室设置在该支撑板上，支撑板距地的高度低于空气腿的高度；MBE生长室与样品分析室之间以及样品分析室与STM室之间分别通过闸板阀和金属波纹管真空密闭相连。本实用新型实现了样品的生长、分析、表征和测试等功能，同时作为个体又彼此独立不受干扰，可充分发挥其特定的功能。 | ||
| 搜索关键词： | 新型 超高 真空 原位 生长 表征 测试 系统 | ||
【主权项】：
1、一种新型超高真空原位生长、表征和测试系统，其特征在于，包括：MBE生长室、样品分析室、STM室和减震台，所述减震台包括三条空气腿、三个钢罩和三角形支架，钢罩垂直安装在三角形支架的三个角上，所述钢罩为半包围形，并分别套装所述三条空气腿上，所述三角支架上在靠近三个角的位置上分别还安装有支撑板，所述MBE生长室、样品分析室和STM室设置在该支撑板上，所述支撑板距地的高度低于所述空气腿的高度；所述MBE生长室与所述样品分析室之间以及所述样品分析室与所述STM室之间分别通过闸板阀和金属波纹管真空密闭相连。
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