[实用新型]一种3维接触测量探头

摘要

一种3维接触测量探头，采用平面触点，包括探头壳体、探针、探针座、绝缘地安装在探针座上的带有三个动触点的导电板、装在探头壳体上的带有三个静触点的绝缘盘、电缆插座和压缩弹簧，其特征是探针座安装在一个圆形薄膜弹簧的中心，圆形薄膜弹簧的圆周固定在探头壳体上。本实用新型平面触点制造工艺简单，圆型薄膜弹簧使结构得到大大简化、并降低制造成本，本实用新型无传动间隙、无静摩擦力，测量精度高，敏度高，测速高，能适于曲面扫描等用途。

主权项

1、一种3维接触测量探头，采用平面触点，它包括探头壳体(1)、探针(2)、探针座(3)、绝缘地安装在探针座(3)上的带有三个动触点的导电板(4)、装在探头壳体(1)上的带有三个静触点的绝缘盘(10)、电缆插座(18)和压缩弹簧(9)，其特征是所述探针座(3)安装在一个圆形薄膜弹簧(8)的中心，所述圆形薄膜弹簧(8)的圆周固定在探头壳体(1)上。