[实用新型]磁四极透镜无效
| 申请号： | 200520142509.6 | 申请日： | 2005-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN2867584Y | 公开（公告）日： | 2007-02-07 |
| 发明（设计）人： | 唐景庭;伍三忠;郭健辉;彭立波;王迪平;孙勇;许波涛;易文杰;姚志丹;孙雪平;谢均宇 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/02;H01L21/265 |
| 代理公司： | 北京中海智圣知识产权代理有限公司 | 代理人： | 曾永珠 |
| 地址： | 100036北京市海淀区复兴路*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种应用于半导体制造离子注入工艺中所用的离子注入机中的磁四极透镜，它包括两个单元透镜、二个支撑板、一底板、一个固定板，其中两个单元透镜分别通过一个支撑板与底板连接，底板又固定在底板上，两个单元透镜之间通过连接拉杆互相固定连接，用于定位两个单元透镜的相对位置。单元透镜包括：透镜管道、线圈、四个磁极、以及圆形磁轭，其中线圈缠绕在磁极上，透镜管道位于四个磁极的中间，四个磁极分别连接于圆形磁轭上，成为一个整体。本实用新型采用磁聚焦形式，使电场均匀，工作可靠，线圈位于真空管道外面，结构简单，安装及维修性能好。 | ||
| 搜索关键词： | 磁四极 透镜 | ||
【主权项】：
1、一种磁四极透镜，包括两个单元透镜、二个支撑板、一底板、一个固定板，其特征在于两个单元透镜分别通过一个支撑板与底板连接，底板又固定在底板上，两个单元透镜之间通过连接拉杆互相固定连接，用于定位两个单元透镜的相对位置。
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