[实用新型]离子注入机有毒气体防护收集排放系统无效
| 申请号： | 200520142511.3 | 申请日： | 2005-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN2847133Y | 公开（公告）日： | 2006-12-13 |
| 发明（设计）人： | 唐景庭;伍三忠;郭健辉;彭立波;王迪平;孙勇;许波涛;易文杰;姚志丹;孙雪平;谢均宇 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | F24F7/00 | 分类号： | F24F7/00 |
| 代理公司： | 北京中海智圣知识产权代理有限公司 | 代理人： | 曾永珠 |
| 地址： | 100036北京市海淀区复兴路*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种离子注入机有毒气体防护收集排放系统，该系统包括主系统排风管、排风管路压力传感器、气箱、离子源送气管防护通风管、离子源排风管、离子源毒气防护隔离罩。其中主系统排风管上安装有排风管路压力传感器，并分别与离子源排风管、气箱连接；气箱分别与离子源送气管防护通风管、主系统排风管相连；离子源送气管防护通风管一端连接气箱，另一端连接离子源毒气防护隔离罩；离子源排风管连接主系统排风管和离子源毒气防护隔离罩；离子源毒气防护隔离罩安装在离子源的外围，分别连接离子源送气管防护通风管和离子源排风管。本实用新型能有效防止有毒气体集聚，可大大提高在进行送气系统维护或更换有毒气瓶时的安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 注入 有毒气体 防护 收集 排放 系统 | ||
【主权项】：
1、一种离子注入机有毒气体防护收集排放系统，包括主系统排风管、排风管路压力传感器、气箱、离子源送气管防护通风管、离子源排风管、离子源毒气防护隔离罩，其特征在于：其中主系统排风管上安装有排风管路压力传感器，并分别与离子源排风管、气箱连接；气箱分别与离子源送气管防护通风管、主系统排风管相连；离子源送气管防护通风管一端连接气箱，另一端连接离子源毒气防护隔离罩；离子源排风管一端连接主系统排风管，另一端连接离子源毒气防护隔离罩；离子源毒气防护隔离罩分别连接离子源送气管防护通风管和离子源排风管。
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