[实用新型]基于静电力驱动的微结构谐振单向弯曲疲劳试验装置

摘要

本实用新型公开了一种基于静电力驱动的微结构谐振单向弯曲疲劳试验装置，该装置的固定梳齿的侧壁与连接交流电的电极相连；所述的悬置梳齿通过连接粱及固定于基底的固定块与接地电极相连；所述的固定梳齿与悬置梳齿为交错对应设置；连接梁的一端为与其成为一体的悬置梳齿的连接臂的中点；其另一端为与其成为一体并通过锚定层固定于基底的侧臂；连接梁为疲劳试样。由于本实用新型的悬置梳齿的转动中心位于其悬臂的中心附件，而且整个梳齿宽度设置得较宽，这样在振动过程中悬置梳齿和固定梳齿之间基本不存在相对转动，悬置梳齿基本是直上直下的直线运动，避免了两者之间由于相对转动而造成的干涉，从而相能产生更大振动幅度。便于研究微梁在较大范围内受力载荷下的疲劳特性。

主权项

1、一种基于静电力驱动的微结构谐振单向弯曲疲劳试验装置，包括有电极、和与电极相连接的固定梳齿和悬置梳齿；其特征在于：所述的固定梳齿(3)的侧壁(8)与连接交流电的电极(1)相连；所述的悬置梳齿(4)通过连接粱(5)及固定于基底的固定块(7)与接地电极(2)相连；所述的固定梳齿(3)与悬置梳齿(4)为交错对应设置；上述连接粱(5)的一端为与其成为一体的悬置梳齿(4)的连接臂的中点；其另一端为与其成为一体的侧臂(7)；连接粱(5)为疲劳试样。