[实用新型]微结构双向弯拉疲劳试验装置

摘要

本实用新型公开了一种微结构双向弯拉疲劳试验装置，包括有驱动电极、检测电极和与之相连接的悬置梳齿单元；在圆心相同但直径不同的数个非闭合圆盘状环臂分布有6个梳齿单元；该梳齿单元分为用来驱动整个悬置结构的驱动组和用来测量悬置结构摆动的幅度的检测组；驱动组和检测组交替分布；每个梳齿单元包含一个悬置梳齿和两个位于悬置梳齿两边的固定梳齿；所有梳齿单元的悬置梳齿通过内侧环臂连于一体并最终与直流电极相连；所有驱动梳齿单元两侧的固定梳齿与驱动电极相连，在驱动电极上分别接入两频率相同、相位相反交流电；该微疲劳试验结构装置具有加工容易，操作简便等特点，对MEMS结构强度的研究具有很高的实用价值。

主权项

1、一种微结构双向弯拉疲劳试验装置，包括有驱动电极、检测电极和与之相连接的悬置梳齿单元；其特征在于：在圆心相同但直径不同的数个非闭合圆盘状环臂分布有数个梳齿单元；该梳齿单元分为用来驱动整个悬置结构的驱动组和用来测量悬置结构摆动的幅度的检测组；所述的驱动组和检测组交替分布；所述的每个梳齿单元包含一个悬置梳齿和两个位于悬置梳齿两边与之夹合的固定梳齿；上述所有梳齿单元的悬置梳齿通过内侧环臂连于一体并最终与直流电极相连；上述所有驱动梳齿单元两侧的固定梳齿最终均与驱动电极相连或通过底电极与驱动电极相连，在驱动电极上分别接入两频率相同、相位相反以拉动驱动梳齿单元的悬置梳齿左右摆动的交流电；上述所有检测梳齿单元两侧的固定梳齿最终均与检测电极相连或通过底电极与检测电极相连，在该检测电极分别接入两频率相同相位相反的高频载波信号；在所述内侧环臂与非闭合圆盘状环臂中心之间连接有产生多轴交变应力的试样。