[实用新型]微结构谐振单向弯拉多轴疲劳试验装置无效
| 申请号： | 200520145010.0 | 申请日： | 2005-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN2864663Y | 公开（公告）日： | 2007-01-31 |
| 发明（设计）人： | 丁雷;尚德广;贾冠华;孙国芹;李浩群 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | G01N3/317 | 分类号： | G01N3/317 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 | 代理人： | 魏聿珠 |
| 地址： | 100022*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种微结构谐振单向弯拉多轴疲劳试验装置，其驱动电极由通过锚定层固定在硅基底上的外侧壁与驱动梳齿对连接；其检测电极由通过锚定层固定在硅基底上的外侧壁与检测梳齿对连接；上述驱动梳齿和检测梳齿夹合的悬置振动块的端部与产生交变应力的试样的一端连接；试样的另一端与接地电极相连；试样与驱动及检测装置为一体性结构；上述检测电极由探针引出，接入振幅测量电路输入端；该检测电路的输出端连接控制终端的输入端；所述的振动块为直线条的网格状。本实用新型的振动块由于采用了网格状，避免了释放孔的设计，而且其线条全为直线构成，降低了制版成本。同时降低了振动块质量，提高了振动固有频率，使得疲劳能够更早发生。 | ||
| 搜索关键词： | 微结构 谐振 单向 弯拉多轴 疲劳 试验装置 | ||
【主权项】：
1、一种微结构谐振单向弯拉多轴疲劳试验装置，包括：驱动电极和检测电极；其特征在于：所述的驱动电极由通过锚定层固定在硅基底上的外侧壁与驱动梳齿对连接；所述的检测电极由通过锚定层固定在硅基底上的外侧壁与检测梳齿对连接；上述驱动梳齿和检测梳齿夹合的悬置振动块的端部与产生交变应力的试样的一端连接；试样的另一端与接地电极相连；试样与驱动及检测装置为一体性结构；所述的振动块分布着直线条的网格状通孔；上述检测电极由探针引出，接入振幅测量电路输入端；该检测电路的输出端连接控制终端的输入端。
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