[实用新型]一种真空镀膜系统无效
| 申请号： | 200520147087.1 | 申请日： | 2005-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN2898055Y | 公开（公告）日： | 2007-05-09 |
| 发明（设计）人： | 刘阳 | 申请（专利权）人： | 北京实力源科技开发有限责任公司;刘阳 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京中誉威圣知识产权代理有限公司 | 代理人： | 丛芳;彭晓玲 |
| 地址： | 100070北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜系统，其空间布局采用互套双仓结构，其中一个镀膜仓和一个过渡仓，通过设置在两仓隔壁上的高真空阀锁，开启闸门两仓连通，可以在真空条件下在该两仓之间进行工件换位；关闭闸门两仓隔离，此时过渡仓充气不影响镀膜仓的正常工作。这种互套双仓真空镀膜系统具有结构简单、强度高、成本低和占用空间小等明显优势。通过上述装置可以实现大批量镀膜生产，提高生产效率，降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 系统 | ||
【主权项】：
1、一种真空镀膜系统，其特征在于：镀膜系统的空间布局为双仓互套结构，一仓为镀膜仓，另一仓为过渡仓；在该两仓隔壁上设置有真空阀锁。
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