[发明专利]粘结卡盘装置有效
| 申请号： | 200580000155.4 | 申请日： | 2005-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN1777832A | 公开（公告）日： | 2006-05-24 |
| 发明（设计）人： | 大谷义和;横田道也 | 申请（专利权）人： | 信越工程株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 陈伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种粘结卡盘装置，以简单的结构切实地装卸基板，在保持板(1)的基板侧，设有粘结部件(3)和变形膜(4)，该粘结部件(3)与基板(A)的反面(A1)相对地粘结保持，该变形膜(4)可向与该基板侧面(1a)交叉的方向出入变形，通过该变形膜(4)的出入变形使基板(A)与粘结部件(3)的粘结表面(3a)抵接地进行粘结，同时通过强制地拉开两者，能够不费力地将基板(A)从粘结部件(3)的粘结表面(3a)剥离。 | ||
| 搜索关键词： | 粘结 卡盘 装置 | ||
【主权项】：
1.一种粘结卡盘装置，其相对于保持板通过粘结装卸自如地保持基板，其特征在于，在所述保持板的基板侧，设有粘结部件和变形膜，该粘结部件与基板的反面相对地粘结保持，该变形膜可向与该基板侧面交叉的方向出入变形，通过该变形膜的出入变形使基板与粘结部件的粘结表面抵接地进行粘结，同时强制地拉开并剥离两者。
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