[发明专利]晶片加热器组件

摘要

本发明描述了一种用在单晶片处理系统中、具有独特的加热器元件的晶片加热组件。加热单元包括嵌入在石英护套中的碳导线元件。加热单元与石英一样不受污染，其可以允许直接接触晶片。碳“导线”或“编织”结构的机械柔韧性允许线圈构造，这允许在晶片上进行独立加热器区域控制。晶片上多个独立加热器区域允许温度梯度能够调节膜生长/沉积均匀性并且允许快速的热调节，因而具有优于传统单晶片系统的膜均匀性，使晶片的翘曲最小甚至没有。低的热质量允许快速的热响应，这使得能够进行脉冲或数字热处理，而形成层接层膜，得到改进的薄膜控制。

主权项

1.一种晶片加热组件，包括：具有多个凹部的保持装置，所述保持装置具有构造成支持晶片的晶片支撑体；多个加热单元，其中，至少一个加热单元包括：具有碳导线加热器的管，所述碳导线加热器包括碳纤维束，并且密封在所述管内，每一个所述管安装在所述保持装置的凹部中，结合到所述碳导线加热器相对端的连接端子；安装组件，所述安装组件结合到所述保持装置，并且构造成将所述晶片加热组件安装到处理室。