[发明专利]先进的多压力工件加工

摘要

工件加工使用和处理室(32)协同的转移室(12)。在预热压力下，将该工件(30)加热到处理温度，之后在处理压力下，暴露于等离子体，该处理压力低于预热压力。处理室压力不超过预热压力，但是在处理室中可诱导快速的压力增长，其由处理压力过渡到预热压力。可将转移室压力维持在处理压力、预热压力下，或者可将其增至所选择的压力，从而可将该处理室再充气到预热压力。再充气装置(54)可在该处理室中选择性诱导快速的压力增加。

主权项

1.在使用处理工艺、用于处理至少一个工件的系统中，所述系统具有至少一个转移室和至少一个处理室，以致于转移室中的转移室压力和处理室中的处理室压力均可改变，且可将工件在转移室和处理室之间移动，所述系统还包括至少在等离子体处理过程期间，以给定流速，用于将工艺气体提供到所述处理室的工艺气体调节装置，且其能够以最大流速提供所述工艺气体，一方法，其包括：a)使该转移室压力和该处理室压力均衡至处理压力，在该处理压力下，将使该工件经受等离子体处理过程；b)在该处理压力下，将工件从该转移室转移到该处理室；c)将工件预热到处理温度，同时以压力增加速度，将处理室压力增至预热压力，该压力增加速率至少部分是由于以输入流速，使用额外的处理室气体输入流而产生，该输入流速导致输入到该处理室的总输入速度大于所述最大流速，而不增加该转移室压力；d)将该处理室压力降至处理压力；以及e)至少在接近所述处理压力和所述处理温度下，使该工件暴露给所述等离子体处理过程。