[发明专利]正型感光性组合物无效
| 申请号： | 200580002009.5 | 申请日： | 2005-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN1910521A | 公开（公告）日： | 2007-02-07 |
| 发明（设计）人： | 佐藤勉 | 申请（专利权）人： | 株式会社新克 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/00;G03F7/004 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 朱丹 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种正型感光性组合物，该组合物可以在无需热处理和25～60％湿度条件下得到非常优良的密接性，可以在低碱性强度下显影，能够保持高感光度并能进行不产生残渣的显影，能获得鲜明、清晰的轮廓，因抗蚀膜非常坚硬而能提高显影前处理中的耐擦伤性。所述正型感光性组合物含有(A)分子中至少有一个羧基的碱溶性高分子物质；(B)吸收显影曝光光源的红外线将其转变成热的光热变换物质；及(C)硫醇化合物。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 组合 | ||
【主权项】：
1.一种正型感光性组合物，其特征在于涂布后无需热处理，其含有：(A)分子中至少有一个羧基的碱可溶性高分子物质、(B)吸收显影曝光光源的红外线将其转变成热的光热变换物质、及(C)硫醇化合物。
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