[发明专利]稳定工艺过程的方法

摘要

本发明涉及稳定技术工艺的方法或技术系统，并且适合于稳定处理制造厂。该方法的特征为以下步骤：a)确定该现有质量变量和它们的可允许的容限；b)在该规定的容限内对每个质量变量进行全局定标(GS)分析，确定这个质量变量的所有GS最优值；c)记录处理数据；d)工艺模型化和灵敏度分析现有的影响，以便确定本地的处理影响；e)通过返回计算该值的最重要的影响变量对这个或所有规定的GS最佳目标变量进行过程优化；f)对最重要的影响变量执行全局定标分析，以便选择GS的最佳目标变量；g)确定该最佳工艺情况和返回计算相应的影响变量，特别是该被控变量，即选择GS最佳目标变量；h)输出操作变量到该工艺，必要时返回到和返回计算到步骤c。

主权项

1. 一种稳定技术工艺的方法，其特征在于包括以下步骤：a)记录和选择数据以及准备数据；b)在指定的容许范围内目标数值的GS分析；c)自动工艺模型化和灵敏度分析，以确定所选的目标变量yi的最重要的影响变量xi。d)在容许范围内选择GS最佳目标变量数值以及通过常规的优化方法反向计算相应的输入变量数值、额定数值、所有影响变量；e)对过程步骤d)中计算的影响变量的额定数值作GS分析，以及f)重复过程步骤d)和e)到在给定的容许范围内获得GS最佳目标变量数值，直至已找到影响变量和被操控变量的所有重要的GS最佳额定数值；g)输出GS最佳的被操控变量到工艺中。