[发明专利]红外线传感器及其制造方法有效
申请号: | 200580003856.3 | 申请日: | 2005-02-25 |
公开(公告)号: | CN1914490A | 公开(公告)日: | 2007-02-14 |
发明(设计)人: | 柴山胜己 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | G01J1/02 | 分类号: | G01J1/02;G01J5/02;H01L27/14;H01L35/32;H01L35/34 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人: | 龙淳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明的红外线传感器的贯通孔P设置于面对于黏着层AD的位置上。即使在由黏着层AD所划分的空间的内外产生压力差,贯通孔P与其底部也由黏着层AD支撑,而可抑制贯通孔P与其底部及在其上形成的绝缘膜Pi的劣化·破损,改善红外线传感器的特性。 | ||
搜索关键词: | 红外线 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种红外线传感器,其特征在于,在红外线传感器中,具备:形成有红外线检测部的半导体基板,面对于所述半导体基板的红外线透过基板,及部分介于所述半导体基板和所述红外线透过基板之间、并给这些基板间赋予空间的黏着层;所述半导体基板,在面对于所述黏着层的位置上,具有用于取出来自所述红外线检测部的电信号的贯通孔。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浜松光子学株式会社,未经浜松光子学株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200580003856.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:内窥镜操作手法教育系统
- 下一篇:用于轴向锁定设有凹槽的销的装置