[发明专利]将导线结构布置在衬底上的方法和具有该导线结构的衬底无效

专利信息
申请号: 200580004017.3 申请日: 2005-01-26
公开(公告)号: CN1914963A 公开(公告)日: 2007-02-14
发明(设计)人: G·埃克施泰因;W·维尔辛 申请(专利权)人: 西门子公司
主分类号: H05K3/20 分类号: H05K3/20;H05K1/03;C01B31/02
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 苏娟;赵辛
地址: 德国*** 国省代码: 德国;DE
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摘要: 发明涉及一种用于使一个导线结构(2)布置在一个衬底(1)上的方法。该方法可以称为转移压制方法。该方法执行下列的方法步骤:a)在至少一个转移载体(3)与导线结构(2)之间建立一个可分离的连接(4);b)将具有导线结构(2)的转移载体(3)与衬底(1)放到一起,使得在导线结构(2)与衬底(1)之间建立一个连接(5),该连接比转移载体(3)与导线结构(2)之间的可分离连接(4)更结实;c)使转移载体(3)与转移载体(3)的导线结构(2)之间的可分离的连接(4)分离,其中保留在导线结构(2)与衬底(1)之间的连接(5)。所述方法特别适用于在相对较低的温度下(T<600℃)侧面布置具有纳米管的导线结构。由此产生一个具有一个导线结构(2)的衬底(1),导线结构在衬底(1)的一个衬底接触面(10,11)上并且在衬底(1)的至少另一衬底接触面(11,10)上与衬底(1)连接。该衬底(1)的特征是,所述导线结构(2)在两个衬底接触面(10,11)之间具有纳米管(20),纳米管从衬底接触面(10,11)指向另一衬底接触面(11,10)。所述纳米管(20)侧面地布置。通过侧面的布置产生纳米线。在此可以充分利用纳米管(2)的良好的电和热特性。
搜索关键词: 导线 结构 布置 衬底 方法 具有
【主权项】:
1.一种用于使导线结构(2)布置在衬底(1)上的方法,其具有下列方法步骤:a)在至少一个转移载体(3)与导线结构(2)之间建立可分离的连接(4),b)将具有导线结构(2)的转移载体(3)与衬底(1)放到一起,使得在导线结构(2)与衬底(1)之间建立连接(5),该连接比转移载体(3)与导线结构(2)之间的可分离连接(4)更结实,c)使转移载体(3)与转移载体(3)的导线结构(2)之间的可分离的连接(4)分离,其中保留在导线结构(2)与衬底(1)之间的连接(5)。
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