[发明专利]透明电极的制造方法无效
| 申请号： | 200580004070.3 | 申请日： | 2005-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN1914695A | 公开（公告）日： | 2007-02-14 |
| 发明（设计）人： | 光井彰;小高秀文;米森重明;赤尾安彦 | 申请（专利权）人： | 旭硝子株式会社 |
| 主分类号： | H01B13/00 | 分类号： | H01B13/00;H01B5/14 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 沙永生 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供由能够很容易地形成布线图案、且可以低成本实现低电阻的透明度良好的氧化锡膜形成的透明电极的制造方法。该透明电极的制造方法是在基板上形成了制作有布线图案的氧化锡膜的透明电极的制造方法，该方法的特征在于，包括在基板上形成具有吸光性的氧化锡膜的工序，用蚀刻液溶解具有吸光性的氧化锡膜的一部分以制作布线图案的工序，对形成了布线图案的具有吸光性的氧化锡膜进行加热处理以获得氧化锡膜的工序。 | ||
| 搜索关键词： | 透明 电极 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.透明电极的制造方法，它是在基板上形成了制作有布线图案的氧化锡膜的透明电极的制造方法，其特征在于，包括在基板上形成具有吸光性的氧化锡膜的工序，除去前述具有吸光性的氧化锡膜的一部分以制作布线图案的工序，对制作有布线图案的前述具有吸光性的氧化锡膜进行加热处理以获得氧化锡膜的工序。
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