[发明专利]扩散阻挡层和扩散阻挡层的制造方法无效
| 申请号： | 200580005287.6 | 申请日： | 2005-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN1977404A | 公开（公告）日： | 2007-06-06 |
| 发明（设计）人： | M·哈拉兹奥尔松;H·特兰夸克;A·加利相 | 申请（专利权）人： | OC欧瑞康巴尔斯公司 |
| 主分类号： | H01L51/00 | 分类号： | H01L51/00;H01L51/52 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 王庆海;王忠忠 |
| 地址： | 列支敦士*** | 国省代码： | 列支敦士登;LI |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于显示装置的扩散阻挡系统，其包括具有至少两层电介质材料的层系统，其中该层系统中的至少两个相邻层包括相同的材料。在单一等离子体沉积系统的处理腔中制造这样的扩散阻挡系统的相应方法，包括的步骤有引入待处理的基板到所述处理腔中，以受控制的方式在沉积过程中分离地变化处理腔中至少一个的工艺参数但不是完全中断这样的工艺参数，从而每个变化在一层中带来了不同的特性，并且最后将所述基板从所述处理腔中取出。 | ||
| 搜索关键词： | 扩散 阻挡 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种用于显示装置的扩散阻挡系统，其包括具有至少两层电介质材料的层系统，其中该层系统中的至少两个相邻层包括相同的材料。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
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