[发明专利]用于电光显示器中的透明电极的具有改进的蚀刻性能的双层透明导体方案无效
| 申请号： | 200580005716.X | 申请日： | 2005-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN1922541A | 公开（公告）日： | 2007-02-28 |
| 发明（设计）人： | I·许;P·徐;W·陈;E·伯姆 | 申请（专利权）人： | 默克专利股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1343 | 分类号： | G02F1/1343;H01L21/02 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 刘明海 |
| 地址： | 德国达*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明公开一种双层透明导体方案，其适用于制造在平板显示器(LCD、ELD、等离子显示器、LED OLED)、触摸面板、滤光器、太阳能电池及其它应用中的透明电极。上层典型地由氧化铟锡(ITO)组成，明显较薄的下层典型地由Al2O3掺杂的氧化锌(AZO)或氧化镓掺杂的ZnO(GZO)或Al2O3和Ga2O3共同掺杂的ZnO(AGZO)组成。下层具有比上层显著更高的湿法化学蚀刻速率，允许上面的ITO层更快、明显更均一的蚀刻，因此防止了ITO“岛”的形成。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 电光 显示器 中的 透明 电极 具有 改进 蚀刻 性能 双层 导体 方案 | ||
【主权项】：
1、层状固体体系，其特征在于其包含：-基板-第一固体层，称为第一可蚀刻层，其由可蚀刻材料组成，和-第二固体层，称为缓冲层，位于所述基板和所述第一可蚀刻层之间，其由可蚀刻材料组成。
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