[发明专利]检查阵列基板的方法及制造阵列基板的方法无效
| 申请号： | 200580005981.8 | 申请日： | 2005-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN1922500A | 公开（公告）日： | 2007-02-28 |
| 发明（设计）人： | 富田晓 | 申请（专利权）人： | 东芝松下显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 张鑫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在检查阵列板的情况下，在设置像素电极之前(步骤(S3))以及在设置像素电极之后(步骤(S7))检查阵列板中是否有缺陷存在。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 阵列 方法 制造 | ||
【主权项】：
1.一种检查阵列基板的方法，所述阵列基板包括基板、形成在所述基板上并沿行方向延伸的多条扫描线、沿列方向延伸与所述扫描线交叉的多条信号线、以及形成在所述基板上并包括形成在所述扫描线和所述信号线的交叉点附近的薄膜晶体管的开关元件、辅助电容器和像素电极的像素部分，所述方法包括：在把所述像素电极设置在所述像素部分上之前检查阵列基板的缺陷的存在；以及在把所述像素电极设置在所述像素部分上之后检查阵列基板的缺陷的存在。
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