[发明专利]半导体处理装置和方法

摘要

本发明提供一种半导体处理装置，具备具有配置在横方向的不同位置上的多个搬送端口(33)的搬送室(3)。对被处理部件(W)实施半导体处理用的处理室(4A)通过多个搬送端口的一个与搬送室(3)连接。在搬送室(3)内配置搬送臂设备(5)用于通过多个搬送端口(33)搬送被处理基板(W)。配置驱动机构(55)用于使搬送臂设备(5)伸缩，同时绕铅直轴旋转。配置倾斜调整机构(6A～6C)用于调整搬送臂设备(5)的倾斜度。

主权项

1.一种半导体处理装置，其特征在于，具备：具有配置在横方向的不同位置上的多个搬送端口的搬送室；通过所述多个搬送端口中的一个与所述搬送室连接，用于对被处理基板实施半导体处理的处理室；用于通过所述多个搬送端口搬送所述被处理基板、配置在所述搬送室内的搬送臂设备；用于使所述搬送臂设备伸缩，同时绕铅直轴旋转的驱动机构；和用于调整所述搬送臂设备的倾斜度的倾斜调整机构。